トグル型手動弁

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三宅景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312927
公開番号（公開出願番号）：特開平10-184980
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】半導体製造装置のガスラインに使用し、全体を小型化して設置に要するスペースを狭くすることができ、また不用意な接触による誤動作を防止して信頼性を向上させることができ、さらに、弁体をスムーズに開閉できるようにしたトグル型手動弁を提供する。【解決手段】手動レバー30の先端部をケース内に挿入して回転可能に支持させる。手動レバー30の先端部を偏心位置の軸31により弁体であるダイヤフラム16を開閉するための弁棒25、連接棒28等から成る操作部材に連結する。ダイヤフラム16の開閉位置で切欠36、37とロックピン35等から成るロック手段により操作部材を作動しないようにロックする。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置のガスラインに接続されるガス流路を有するボディと、このボディの内部で開閉可能に設けられ、前記ガス流路を連通、若しくは遮断し得る弁体と、前記ボディに接続されるケースと、これらケース及びボディの内部で移動可能に支持され、上記弁体を開閉するための操作部材と、この操作部材を閉弁側に付勢するスプリングと、前記ケースに先端部が挿入された状態で回転可能に支持されるとともに、回転に伴い、前記操作部材を前記スプリングの弾性に抗した方向、若しくは前記スプリングの付勢方向に移動させるように偏心位置の軸により前記操作部材に連結される手動レバーと、前記弁体の開閉位置の少なくとも一方において、前記操作部材をロック状態に保持するためのロック手段とを備えたトグル型手動弁。

IPC (3件)：

F16K 31/44 , F16K 7/14 , F16K 35/00

FI (3件)：

F16K 31/44 D , F16K 7/14 Z , F16K 35/00 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

手動式弁装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-028968 出願人：株式会社本山製作所
特公昭49-020329

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