感光性組成物、感光性薄膜、及びパターン形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-297382
公開番号（公開出願番号）：特開2002-105339
出願日： 2000年09月28日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：

【要約】【課題】現像工程を行うことなく光照射のみでパターンを形成すること及び高感度を実現することが可能な感光性材料及び感光性薄膜、並びにそのような感光性材料を用いたパターン形成方法を提供すること。【解決手段】本発明は、アゾベンゼン骨格を有する高分子物質と液晶物質とを含有する感光性組成物及び感光性薄膜を提供する。また、本発明は、アゾベンゼン骨格を有する高分子物質と液晶物質とを含有する感光性組成物の薄膜を形成する工程と、この薄膜をパターン露光することにより上記感光性組成物の移動を生じさせる工程とを具備することを特徴とするパターン形成方法を提供する。

請求項（抜粋）：

アゾベンゼン骨格を有する高分子物質と液晶物質とを含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (5件)：

C08L101/02 , C08K 5/00 , G03H 1/02 , G03H 1/04 , G03F 7/004 521

FI (5件)：

C08L101/02 , C08K 5/00 , G03H 1/02 , G03H 1/04 , G03F 7/004 521

Fターム (20件)：

2H025AB20 , 2H025AC08 , 2H025BH00 , 2H025CB41 , 2H025CC20 , 2H025FA01 , 2K008AA04 , 2K008BB01 , 2K008BB08 , 2K008DD12 , 2K008EE01 , 2K008EE04 , 2K008FF13 , 2K008HH01 , 2K008HH18 , 2K008HH25 , 4J002BE011 , 4J002BF011 , 4J002ET006 , 4J002GP03

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