限界電流式ガスセンサのクリーニング方法とその方法を利用したガス濃度検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野正行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-093347
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257746
出願日： 1996年03月21日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】陰電極が気体拡散制限孔を兼ねるシンプルな平面型構造の限界電流式ガスセンサを用いて、ガス濃度を長時間継続して正確に且つ簡易に測定することを可能ならしめるセンサのクリーニング方法と検出装置を提供する。【解決手段】酸素イオン伝導性を有する固体電解質基板の表面に多孔質体からなる一対の電極が密着して設けられ、陰電極の気孔が測定気体の拡散量を制限する気体拡散制限孔を兼ねたセンサの、それら電極間に直流電圧を印加したときに生じる限界電流値に基づいて気体濃度を測定する方法において、センサの印加電圧対限界電流値特性が劣化した場合に、測定時とは逆の電圧を印加することにより、前記特性を正常に復帰させることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

酸素イオン伝導性を有する固体電解質基板の表面に多孔質体からなる一対の電極が密着して設けられ、陰電極の気孔が測定気体の拡散量を制限する気体拡散制限孔を兼ねたセンサの、それら電極間に直流電圧を印加したときに生じる限界電流値に基づいて気体濃度を測定する方法において、センサの印加電圧対限界電流値特性が劣化した場合に、測定時とは逆の電圧を印加することにより、前記特性を正常に復帰させることを特徴とする限界電流式ガスセンサのクリーニング方法。

FI (2件)：

G01N 27/46 325 Z , G01N 27/46 325 N

引用特許：

審査官引用 (14件)

水蒸気センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-128141 出願人：日本特殊陶業株式会社
ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-350475 出願人：日本特殊陶業株式会社
特開平2-147853

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