特許

J-GLOBAL ID：200903075987096689

ウエーハセンタリング装置

発明者： 田▲邉▼ 和夫
出願人/特許権者： 田▲邉▼ 和夫
代理人 (1件)： 亀川 義示
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-327124
公開番号（公開出願番号）：特開2004-165284
出願日： 2002年11月11日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】チャックを基準としてウエーハとチャックのセンターを正確に一致できる構成が簡単なウエーハセンタリング装置を提供する。【解決手段】チャック(2)に接離可能にウエーハガイド板(7)を設ける。このウエーハガイド板(7)に、ウエーハ(1)の外周縁(8)が当接するウエーハ基準面(9)と、チャック(2)に設けたチャック基準面(10)に当接するチャック当接面(11)を形成する。上記ウエーハガイド板(7)を移動し上記チャック当接面(11)がチャック基準面(10)に当接した定位置で停止させる。その後、上記ウエーハ基準面(9)にウエーハ(1)の外周縁(8)が当る位置までウエーハ(1)を搬入すれば、ウエーハ(1)はチャック(2)を基準として正確にセンタリングされる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ウエーハを保持するチャックに接離可能にウエーハガイド板を設け、該ウエーハガイド板にウエーハの外周縁が当接するウエーハ基準面と上記チャックのチャック基準面に当接するチャック当接面を形成し、該ウエーハガイド板のチャック当接面を上記チャック基準面に当接し該ウエーハガイド板を定位置に停止させた状態で上記ウエーハ基準面に当接する位置までウエーハをチャック上に搬入し、上記チャックを基準としてウエーハをセンタリングすることを特徴とするウエーハセンタリング装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  H01L21/306

FI (4件)：

H01L21/68 G ,  H01L21/68 A ,  B65G49/07 E ,  H01L21/306 J

Fターム (21件)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA06 ,  5F031GA32 ,  5F031GA38 ,  5F031HA13 ,  5F031KA02 ,  5F031KA11 ,  5F031MA24 ,  5F031MA32 ,  5F043AA22 ,  5F043BB15 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F043EE35 ,  5F043FF10 ,  5F043GG10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 被処理体の位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-286069   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特公平1-042138