特許
J-GLOBAL ID：200903075996696010
平行X線ビームの取り出し方法及び装置並びにX線回折装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-308188
公開番号（公開出願番号）：特開2004-117343
出願日： 2003年09月01日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】単一の放物面多層膜ミラーを用いて2種類の波長の平行X線ビームを取り出すことができるようにする。【解決手段】CuKα線とCoKα線の平行X線ビームを取り出すのに,CuKα線用に作られた単一の放物面10だけを用いる。放物面10の焦点のところに位置する第1のX線焦点XF1から出射したCuKα線は,X=80〜120mmの領域において,放物面10で示す反射面で反射して,平行ビームとなって右方向に出ていく。第1のX線焦点XF1から上方に0.6765mmだけ離れたところに第2のX線焦点XF2を設けると,この第2のX線焦点XF2から出射したCoKα線は,X=80〜120mmの領域において,同じ放物面10で示す反射面で反射することができて,平行ビームとなって右方向に出ていく。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
次の各段階を備える平行X線ビームの取り出し方法。
(a)第1波長に基づいて定められた放物面形状を有する反射面を備える放物面多層膜ミラーを準備する段階。
(b)前記第1波長のX線を発生する第1のX線焦点を,前記放物面の焦点の位置に配置して,前記第1のX線焦点から出射される前記第1波長のX線を,前記放物面多層膜ミラーで反射させて,前記第1波長の平行X線ビームを得る段階。
(c)前記第1波長とは異なる第2波長のX線を発生する第2のX線焦点を,前記放物面の焦点から,前記放物面の軸に対して垂直方向に所定距離だけずらした位置に配置して,前記第2のX線焦点から出射される前記第2波長のX線を,前記放物面多層膜ミラーで反射させて,前記第2波長の平行X線ビームを得る段階。
IPC (4件)：
G01N23/20
, G21K1/06
, G21K5/08
, H01J35/10
G01N23/20
, G21K1/06 G
, G21K1/06 S
, G21K5/08 X
, H01J35/10 H
2G001AA01
, 2G001AA09
, 2G001AA10
, 2G001AA20
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001EA02
, 2G001EA09
, 2G001GA04
, 2G001JA01
, 2G001JA04
, 2G001JA11
, 2G001SA01
, 2G001SA02
出願人引用 (3件)
-
X線装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-228443
出願人：理学電機株式会社
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X線発生装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-303676
出願人：理学電機株式会社
-
X線回折分析方法及びX線回折分析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-108574
出願人：理学電機株式会社
審査官引用 (2件)
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