特許
J-GLOBAL ID：200903075997581330

脆性薄板の平面研磨における保持装置

発明者：
岸田 信一

岸田 信一 について


出願人/特許権者：
有限会社岸田製作所

有限会社岸田製作所 について


代理人 (1件)： 三根 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-211743
公開番号（公開出願番号）：特開2000-024912
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：
【要約】【課題】 脆性薄板をワーク9とする平面研磨において、キャリヤ板7の内側開口部8内にワーク9を収容する際、双方の間に、着脱交換操作が比較的容易でありながら、装着時におけるキャリヤ板7への密着性が強大であって遊星運動を確実に伝えることができ、しかも、離脱するおそれのない係合手段を備えた緩衝材10を提供する。【解決手段】 基端部の幅よりも先端部の幅の方が広いクサビ形突部71とクサビ形凹部72とをキャリヤ板7の内側開口部8に沿って交互に配設する一方、クサビ形凹部72の両側縁間長さLよりも僅かに幅広の両側縁間長さL1 を有するクサビ形突部101とクサビ形突部71の両側縁間長さMよりも僅かに幅狭の両側縁間長さM1 を有するクサビ形凹部102とを緩衝帯10の外側縁に沿って交互に配設し、クサビ形突部101の両側縁間長さL1 を対向方向に圧縮して両側縁間長さLに短縮させた状態でクサビ形凹部72に圧入して係合させる。
請求項（抜粋）：
一対の定盤の間における中心部に駆動用のサンギヤを、その周辺部にそのサンギヤと同芯のインターナルギヤを対設し、それら双方のギヤに噛合する遊星ギヤを周面に備えたキャリヤ板を介装し、そのキャリヤ板の内側開口部にワークを収容して、そのワークの表裏両面を遊星ギヤ運動によって研磨する平面ラップ盤において、基端部の幅よりも先端部の幅が広いクサビ形突部とクサビ形凹部を交互に配した第1のクサビ形凹突を前記キャリヤ板の内側開口部に沿って設ける一方、前記第1のクサビ形凹突におけるクサビ形凹部の両側縁間長さよりも僅かに幅広の両側縁間長さを有するクサビ形突部と、前記第1のクサビ形凹突におけるクサビ形突部の両側縁間長さよりも僅かに幅狭の両側縁間長さを有するクサビ形凹部を交互に配した第2のクサビ形凹突を緩衝帯の外側縁に沿って設け、前記第2のクサビ形凹突におけるクサビ形突部の両側縁部を、順次対向方向に圧縮させた状態で、前記第1のクサビ形凹突におけるクサビ形凹部に順次圧入して、前記第2のクサビ形凹突を前記第1のクサビ形凹突と係合させ、前記緩衝帯の内側に前記ワークを収容する、ことを特徴とする脆性薄板の平面研磨における保持装置。
Fターム (7件)：
3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB04 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09 ,  3C058DA18
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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