特許

J-GLOBAL ID：200903076000176461

改良形荷電粒子検出装置

発明者： 武藤 勝美 ,  住谷 弘幸 ,  田村 一二三 ,  関 節子
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-280113
公開番号（公開出願番号）：特開平9-120790
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】SEM,AES,XPSなどの定量化を可能にする改良形荷電粒子検出装置に関するものである。【解決手段】二次電子増倍管,前置増幅器,ディスクリミネータ,主増幅器,波形形成器および計数器等により構成されることを特徴とする荷電粒子検出装置。【効果】SEM,AES,XPSなどの装置において検出器自体のノイズを信号成分と明確に区別して検出できるので、測定データの定量性が著しく向上する。

請求項（抜粋）：

二次電子倍増管を備えた改良形荷電粒子検出装置において、前記二次電子倍増管に入射する二次電子のエネルギーに基づいて、前記二次電子倍増管が有するダイノードに導かれる二次電子のエネルギーを制御することを特徴とする改良形荷電粒子検出装置。

IPC (4件)：

H01J 37/244 ,  G01N 23/225 ,  G01T 1/28 ,  H01J 43/02

FI (4件)：

H01J 37/244 ,  G01N 23/225 ,  G01T 1/28 ,  H01J 43/02