特許
J-GLOBAL ID:200903076037624103
エキシマランプ
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
五十畑 勉男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-088655
公開番号(公開出願番号):特開2005-276640
出願日: 2004年03月25日
公開日(公表日): 2005年10月06日
要約:
【課題】 エキシマランプの放電容器が紫外線によって破損することがなく、しかも、長時間点灯しても放射照度維持率が減衰せず、光出力も低下せず、光量が安定したエキシマランプを提供することにある。【解決手段】 本発明のエキシマランプは、エキシマランプの放電容器11の発光部のガラスの仮想温度が900〜1200°Cであって、前記放電容器11のガラスに含まれる炭素(C)の量が、C/Siの比で0.1atm%以下であることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
エキシマランプの放電容器の少なくとも発光部のガラスの仮想温度が900〜1200°Cであって、
前記放電容器のガラスに含まれる炭素(C)の量が、C/Siの比で0.1atm%以下であることを特徴とするエキシマランプ。
IPC (4件):
H01J65/00
, C03B20/00
, C03C3/06
, H01J61/30
FI (5件):
H01J65/00 D
, H01J65/00 B
, C03B20/00 E
, C03C3/06
, H01J61/30 A
Fターム (59件):
4G014AH21
, 4G062AA03
, 4G062BB02
, 4G062DA08
, 4G062DB01
, 4G062DC01
, 4G062DD01
, 4G062DE01
, 4G062DF01
, 4G062EA01
, 4G062EA10
, 4G062EB01
, 4G062EC01
, 4G062ED01
, 4G062EE01
, 4G062EF01
, 4G062EG01
, 4G062FA01
, 4G062FA10
, 4G062FB01
, 4G062FC01
, 4G062FD01
, 4G062FE01
, 4G062FF01
, 4G062FG01
, 4G062FH01
, 4G062FJ01
, 4G062FK01
, 4G062FL01
, 4G062GA01
, 4G062GA10
, 4G062GB01
, 4G062GC01
, 4G062GD01
, 4G062GE01
, 4G062HH01
, 4G062HH03
, 4G062HH05
, 4G062HH07
, 4G062HH09
, 4G062HH11
, 4G062HH13
, 4G062HH15
, 4G062HH17
, 4G062HH20
, 4G062JJ01
, 4G062JJ02
, 4G062JJ03
, 4G062JJ05
, 4G062JJ07
, 4G062JJ10
, 4G062KK01
, 4G062KK03
, 4G062KK05
, 4G062KK07
, 4G062KK10
, 4G062MM23
, 4G062NN16
, 4G062NN34
引用特許: