紫外光照射により物質表面を改質する方法及び紫外光照射装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-161850
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015601
出願日： 1995年06月28日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】マスクに付着したゴミの影響を受けにくく、かつ比較的低価格の紫外光照射装置及び照射方法を提供する。【構成】紫外光によって改質される表面を有する物質の該表面の第1の方向に対して平行な方向に延在する少なくとも1本の直線状の領域に、向きの異なる複数の光線を含む紫外光であって、該複数の光線を前記第1の方向に対して平行な平面に垂直投影した複数の線像が相互に交わり、該複数の光線を前記第1の方向に対して垂直な平面に垂直投影した複数の線像が相互にほぼ平行である前記紫外光を照射して、前記表面を改質する紫外線照射工程を含む。

請求項（抜粋）：

紫外光によって改質される表面を有する物質の該表面の第1の方向に対して平行な方向に延在する少なくとも1本の直線状の領域に、向きの異なる複数の光線を含む紫外光であって、該複数の光線を前記第1の方向に対して平行な平面に垂直投影した複数の線像が相互に交わり、該複数の光線を前記第1の方向に対して垂直な平面に垂直投影した複数の線像が相互にほぼ平行である前記紫外光を照射して、前記表面を改質する紫外線照射工程を含む物質表面改質方法。

IPC (3件)：

G02F 1/1337 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

FI (3件)：

G02F 1/1337 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

引用特許：

審査官引用 (8件)

配向膜の配向処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-306463 出願人：日新電機株式会社, 株式会社イー・エッチ・シー
液晶配向膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-175115 出願人：スタンレー電気株式会社
液晶表示素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-228740 出願人：株式会社東芝

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