パラレルリンクステージ機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奈良武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-068218
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260277
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】本発明は、構成の大型化を回避しつつ移動ステージの可動範囲を広くすることが可能なパラレルリンクステージ機構を提供することを目的とする。【解決手段】ベース部材2と移動ステージ1とを、アクチュエータにより伸縮可能で、かつ、ボールジョイント4bを用いて回動可能に構成したリンク3bで連結したパラレルリンクステージ機構において、前記リンク3bと、前記移動ステージ1又は前記ベース部材2との連結部に配置したこの移動ステージ1又はベース部材2に対して摺動可能な摺動部材10と、印加電圧の有無によりこの摺動部材10の移動ステージ1又はベース部材2に対する固定又は固定解除を行う圧電体9とからなり、このリンク3b2の伸縮範囲及び回動範囲に拘束される前記移動ステージ1のx,y,z3軸方向の移動範囲を拡大する移動範囲拡大機構を設けたものである。

請求項（抜粋）：

ベース部材と移動ステージとを、伸縮可能で、かつ、回動可能なリンクで連結したパラレルリンクステージ機構において、前記リンクと、前記移動ステージ又は前記ベース部材との連結部に、このリンクの伸縮範囲及び回動範囲に拘束される前記移動ステージの移動範囲を拡大する移動範囲拡大機構を設けたこと、を特徴とするパラレルリンクステージ機構。

IPC (2件)：

G12B 5/00 , B23Q 1/03

FI (2件)：

G12B 5/00 T , B23Q 1/02 T

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-304366
パラレルリンクマニピュレータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-232907 出願人：新日本製鐵株式会社
特開昭63-174887

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