研磨パッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：橋本克彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-296146
公開番号（公開出願番号）：特開平11-114834
出願日： 1997年10月14日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】多孔質の研磨パッドを硬さむらが殆んどなく且つ有効面積の変化が少ないものとし、良好な仕上がり状態に効率よく研磨できるようにする。【解決手段】高分子材料製殻壁に発泡剤を内包した微小カプセルを用い、高分子材料製基材の原料に混入してその硬化反応熱で発泡剤が発生する分解ガスの膨張により殻壁を破って形成された球状の気泡を基材に包含させた。

請求項（抜粋）：

発泡剤が熱分解して発生するガスによって作られた気泡を高分子材料で作られた基材に包含する多孔質の研磨パッドにおいて、前記気泡は高分子材料で作られた殻壁に発泡剤を内包した微小カプセルの発泡剤が前記基材の原料の硬化反応熱で分解し前記殻壁を破って膨張したガスによって形成されていることを特徴とする研磨パッド。

IPC (3件)：

B24D 3/32 , B24D 11/00 , C08J 5/14

FI (3件)：

B24D 3/32 , B24D 11/00 E , C08J 5/14

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭64-058475
不織布クリーナー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-284395 出願人：金井宏之
特開昭63-052971

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審査官引用 (6件)

特開昭64-058475
不織布クリーナー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-284395 出願人：金井宏之
特開昭63-052971

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