特許
J-GLOBAL ID：200903076209032025
レーザ顕微鏡及びこのレーザ顕微鏡を用いたパターン検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-088116
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282010
出願日： 1997年04月07日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 高速で撮像できるレーザ顕微鏡及び高感度で高速に検査できるパターン検査装置を提供する。【解決手段】 光源装置(1,10) から第1の方向に整列した複数の光ビームを発生させ、これら光ビームを対物レンズ(6,29) を経て試料(7,30) に投射して光スポット列を形成する。試料を光スポット列と直交する方向に移動させ、又はビーム偏向装置を用いて直交する方向に移動させて2次元走査を行なう。そして、試料上に形成した光スポットからの光をリニアイメージセンサ(11,33)の対応する光検出素子にそれぞれ入射させる。メモリセルのような周期性を有するパータンの検査装置として用いる場合、光スポットのピッチをパターンの配列ピッチに対応させ、各光検出素子からの出力信号を比較することにより欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
第1の方向に沿って整列した複数の光ビームを放出する光源装置と、前記複数のサブビームを集束して観察すべき試料に投射し、試料上に微小な光スポットの列を形成する対物レンズと、観察すべき試料を支持するステージと、このステージを光スポット列の方向と直交する方向に移動させるステージ駆動機構と、前記試料上のスポット列と対応する方向に沿って配列した複数の光検出素子を有するリニアイメージセンサとを具え、前記試料上の各光スポットからの反射光を前記リニアイメージセンサの対応する光検出素子にそれぞれ入射させることを特徴とするレーザ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, H01L 21/66
G01N 21/88 E
, G01B 11/30 Z
, H01L 21/66 C
, H01L 21/66 J
