非晶質膜とその作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-292080
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120141
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】高信頼性を有する非晶質膜を提供することを目的とする。【構成】光伝導度がAM1のもとで1×10-6S/cm以上であり、暗伝導度が1×10-11 S/cm以下であり、かつAM1の光強度で 100時間の光照射のもとで光伝導度の低下率が20%以内であることを特長とする非晶質膜。

請求項（抜粋）：

光伝導度がAM1のもとで1×10-6S/cm以上であり、暗伝導度が1×10-11 S/cm以下であり、かつAM1の光強度で 100時間の光照射のもとで光伝導度の低下率が20%以内であることを特長とする非晶質膜。

IPC (5件)：

H01L 21/203 , C23C 14/06 , C23C 14/40 , H01L 21/205 , H01L 31/04

FI (2件)：

H01L 31/04 V , H01L 31/04 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

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