ポリッシャ研磨用電着ドレッサ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：加藤久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-305995
公開番号（公開出願番号）：特開2000-127046
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】 CMP加工などの精密仕上げ加工に用いられるポリッシャの研磨用ドレッサにおいて、ドレッサの砥材層に耐酸性を付与して強酸性の研磨剤使用時の砥材層の侵食を防止する。【解決手段】砥粒13とNiメッキ層14とにより構成されている砥材層12の表面に、厚さ1〜5μmのダイヤモンドライクカーボンまたは二硫化モリブデンからなる被覆層15を形成して、電着ドレッサのプレート10を作成する。

請求項（抜粋）：

砥材層を含むドレッサ全体の表面に厚さ1〜5μmの耐酸性非金属物質からなる被覆層を形成したポリッシャ研磨用電着ドレッサ。

IPC (5件)：

B24D 3/00 310 , B24D 3/00 350 , B24B 37/00 , B24D 3/34 , H01L 21/304 622

FI (5件)：

B24D 3/00 310 D , B24D 3/00 350 , B24B 37/00 A , B24D 3/34 Z , H01L 21/304 622 M

Fターム (13件)：

3C058AA07 , 3C058AA19 , 3C058CA01 , 3C058CB10 , 3C058DA12 , 3C063AA02 , 3C063AB05 , 3C063BA37 , 3C063CC11 , 3C063CC13 , 3C063EE26 , 3C063FF23 , 3C063FF30

引用特許：

審査官引用 (5件)

研磨布のドレッシング装置および研磨布ドレッシング用砥石
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-211264 出願人：三菱マテリアル株式会社
研磨用工具
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-079686 出願人：スピードファム株式会社
内周刃ダイヤモンド砥石
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-307683 出願人：旭ダイヤモンド工業株式会社

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