エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-141534
公開番号（公開出願番号）：特開平11-335655
出願日： 1998年05月22日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【課題】ウエハ裏面の研摩時に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために用いられるウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物であって、シート剥離後に粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるような、ウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供すること。【解決手段】本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、エネルギー線重合性基と酸性基とを含有する重合体(A)と、中和剤(B)とからなることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

エネルギー線重合性基と酸性基とを含有する重合体(A)と、中和剤(B)とからなることを特徴とするエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。

IPC (6件)：

C09J201/02 , C09J 7/02 , C09J133/02 , C09J133/14 , H01L 21/301 , C08F 2/48

FI (6件)：

C09J201/02 , C09J 7/02 Z , C09J133/02 , C09J133/14 , C08F 2/48 , H01L 21/78 M

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平1-251737
特開平2-187478
特開昭60-196956

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