特許

J-GLOBAL ID：200903076286955691

化学的機械的テクスチャ加工方法

発明者： 堀江 祐二 ,  丸川 隆文 ,  遠藤 寛一
出願人/特許権者： 日本ミクロコーティング株式会社
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-178258
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009694
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】磁気ディスク用のガラス基板表面に微細且つ均一なテクスチャ条痕を形成できる化学的機械的テクスチャ加工方法を提供することである。【解決手段】水酸化カリウム溶液、水酸化ナトリウム溶液、等の水酸基を有する溶液を含有した砥粒懸濁液Lをガラス基板Dの表面に供給しつつ、プラスチック繊維からなる織布テープTをガラス基板Dの表面に押し付けて走行させる工程、から成る化学的機械的テクスチャ加工方法。

請求項（抜粋）：

水酸基を有する溶液を含有した砥粒懸濁液をガラス基板表面に供給しつつ、プラスチック繊維からなる織布テープを前記ガラス基板表面に押し付けて走行させる工程、から成る化学的機械的テクスチャ加工方法。

IPC (4件)：

B24B 21/00 ,  B24B 1/00 ,  B24B 7/24 ,  G11B 5/84

FI (4件)：

B24B 21/00 B ,  B24B 1/00 D ,  B24B 7/24 C ,  G11B 5/84 Z

Fターム (26件)：

3C043BB07 ,  3C043CC05 ,  3C049AA05 ,  3C049AA09 ,  3C049AA12 ,  3C049AC04 ,  3C049BA02 ,  3C049BA09 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01 ,  3C058AA05 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AC04 ,  3C058BA02 ,  3C058BA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112GA09 ,  5D112GA13 ,  5D112GA26 ,  5D112GA30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 磁気記録媒体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-226623   出願人：三菱化学株式会社
• 磁気ディスク用基板のテクスチャリング用研磨組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-208609   出願人：株式会社フジミインコーポレーテッド
• 研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-274368   出願人：キヤノン株式会社