特許

J-GLOBAL ID：200903076291288660

表面形状測定装置

発明者： 塚原 真一郎 ,  磯部 章 ,  岩瀬 昭雄
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-296493
公開番号（公開出願番号）：特開2006-105919
出願日： 2004年10月08日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

【課題】 本発明は、被被測定部材の厚さ、うねり、及びナノトポグラフィを測定する表面形状測定装置に関し、ガイドバーのガイド面に案内されて移動するスライダの横振れを小さくして、1つの装置で被測定部材の厚さ、うねり、ナノトポグラフィを精度良く測定することを課題とする。【解決手段】 ワーク保持器90が配設されたスライダ61を複数の流体静圧パッド62,63によりガイドバー51に対して移動可能に支持し、ワイヤ118を介して駆動モータ104の動力をスライダ61に伝達させて、スライダ61をX,X方向に移動させてワーク29の面29A,29Bの表面形状の測定を行う。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

被測定部材を保持する被測定部材保持器、又は前記被測定部材の表面形状を測定する一対のセンサのどちらか一方を備えた移動体と、 該移動体を案内するガイドバーと、 前記移動体と前記ガイドバーとの間に設けられ、前記移動体を前記ガイドバーに対して移動可能に支持する支持部材と、 前記ガイドバーの長手方向に延在すると共に、前記移動体と接続された紐状部材又は帯状部材と、 前記紐状部材又は帯状部材を介して、前記移動体を前記ガイドバーの長手方向に移動させる駆動装置とを備えたことを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 21/20 ,  G01B 21/30 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G01B21/20 C ,  G01B21/30 102 ,  H01L21/68 K

Fターム (19件)：

2F069AA00 ,  2F069AA46 ,  2F069AA57 ,  2F069AA61 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG11 ,  2F069GG63 ,  2F069JJ13 ,  2F069JJ17 ,  2F069MM01 ,  2F069NN04 ,  5F031CA02 ,  5F031JA02 ,  5F031JA45 ,  5F031LA11 ,  5F031MA33 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-158892   出願人：黒田精工株式会社