ガルバノスキャナ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-116238
公開番号（公開出願番号）：特開2003-307700
出願日： 2002年04月18日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：

【要約】【課題】ガルバノスキャナにおいて、湿度変化等の影響をうけることなく、ガルバノミラーの高速動作時においても高精度の角度測定を可能とすること。【解決手段】回動板には、第1の放射状パターンが設けられたもので、シャフトと一体に即ちガルバノミラーと一体に回動する。回動板の手前側には第1放射状パターンに対抗する位置にLEDが固定されており、このLEDから発せられた光の一部は回動板の第1放射状パターンを通過して背面側に設けられた固定板に設けられた第2放射状パターンに当接し、この固定板をも通過した光がPDによって受光され、電流に変換されてアンプで増幅され、カウンタによってカウントされて角度の値に変換される。

請求項（抜粋）：

光ビームを反射させると共に任意の角度に偏向させるガルバノミラーと、このガルバノミラーが固定されるシヤフトと、このシヤフトを回動させる回動手段と、所定間隔で放射状に設けられた複数の第1放射状パターンを有すると共に上記シャフトに固定される回動板と、所定間隔で放射状に設けられた複数の第2放射状パターンを有する固定板と、第1放射状パターンに光を照射する発光部と、第1及び第2放射状パターンを透過した光または、第1放射状パターンから反射すると共に第2放射状パターンを透過した光を受光する受光部とを備えたガルバノスキャナ。

IPC (2件)：

G02B 26/10 104 , B23K 26/06

FI (2件)：

G02B 26/10 104 Z , B23K 26/06 Z

Fターム (7件)：

2H045AB54 , 2H045AB62 , 2H045BA02 , 2H045DA31 , 4E068CD08 , 4E068CD12 , 4E068CE03

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭58-086610
特開昭58-086610
光学式位置検出装置の検出器配置構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-282981 出願人：石川島播磨重工業株式会社

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