特許
J-GLOBAL ID：200903076298947252
磁気検出素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
野▲崎▼ 照夫
, 三輪 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-347354
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116701
出願日： 2003年10月06日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】 適切に結晶化されたホイスラー合金からなる薄膜を利用し、磁気抵抗変化量が大きな磁気検出素子を提供する。【解決手段】 フリー磁性層113や固定磁性層115が、ホイスラー合金層を有している。前記ホイスラー合金層は膜面と平行な方向に{220}面として表される等価な結晶面が優先配向している体心立方(bcc)構造を有し、前記ホイスラー合金層が、前記膜面と平行な方向に[110]面として表される等価な結晶面が優先配向し、体心立方構造を有したbcc層の上に形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
磁化方向が一方向に固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性材料層を介して形成されたフリー磁性層を有する多層膜を有し、前記多層膜の各層の膜面と垂直方向に電流が流れる磁気抵抗効果素子において、
前記フリー磁性層と前記固定磁性層のいずれか一方または両方が、ホイスラー合金層を有しており、
前記ホイスラー合金層は前記多層膜の膜面と平行な方向に{220}面として表される等価な結晶面が優先配向している体心立方(bcc)構造を有し、
前記ホイスラー合金層が、体心立方(bcc)構造を有し、前記膜面と平行な方向に[110]面として表される等価な結晶面が優先配向しているbcc層の上に形成されていることを特徴とする磁気検出素子。
IPC (7件)：
H01L43/08
, C22C19/07
, C22C38/00
, G11B5/39
, H01F10/16
, H01F10/32
, H01L43/10
H01L43/08 Z
, H01L43/08 M
, C22C19/07 C
, C22C38/00 303S
, G11B5/39
, H01F10/16
, H01F10/32
, H01L43/10
5D034BA03
, 5D034CA00
, 5E049AA04
, 5E049AC05
, 5E049BA12
, 5E049CB02
, 5E049DB02
, 5E049GC01
