特許

J-GLOBAL ID：200903076324007190

基板検査装置

発明者： 藤原 順
出願人/特許権者： 国際技術開発株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-111298
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296254
出願日： 2000年04月12日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】 基板の湾曲、撓み、反り等を防止し、検査領域内の基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位を抑制して基板を搬送することにより、当該検査領域において精度良く基板の欠陥を検査する。【解決手段】 搬送手段11、13により基板15を搬送し、ラインセンサ16、18による検査領域で、搬送案内手段20により当該基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位を抑制する。これにより、検査領域25、27において、ラインセンサ16、18の被写界深度に差が生ずることはなく、ラインセンサにより基板の表面又は裏面の状況を適正に検出することができ、精度良く基板の検査を行うことができる。

請求項（抜粋）：

配線パターンが形成された基板を少なくとも基板の幅方向両端部をそれぞれの細幅ベルトで挟持して搬送する搬送手段と、該搬送手段により搬送路中に設けられた少なくとも検査領域内において、前記基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位がないように搬送を案内する搬送案内手段と、前記検査領域において、前記搬送案内手段で案内されている基板の幅方向に沿って、前記基板面を走査することで基板面を検出するラインセンサと、を有する基板検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/956 ,  B65G 15/16 ,  B65G 21/22 ,  G01N 21/84 ,  H05K 3/00

FI (5件)：

G01N 21/956 B ,  B65G 15/16 ,  B65G 21/22 D ,  G01N 21/84 C ,  H05K 3/00 V

Fターム (15件)：

2G051AA65 ,  2G051AB07 ,  2G051AB08 ,  2G051AB11 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051DA09 ,  3F023AA05 ,  3F023AB05 ,  3F023BA06 ,  3F023BB06 ,  3F023BC01 ,  3F025CA01 ,  3F025CB09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 印刷物の汚れ識別装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-058591   出願人：株式会社東芝
• プリント基板の外観検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-024614   出願人：長野日本無線株式会社
• 特開昭53-052147