特許
J-GLOBAL ID：200903076342402919

マイクロ放電ツルーイング装置とこれを用いた微細加工方法

発明者：
大森 整

大森 整 について

, 
山形 豊

山形 豊 について


出願人/特許権者：
理化学研究所

理化学研究所 について


代理人 (1件)： 堀田 実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-232520
公開番号（公開出願番号）：特開2000-061839
出願日： 1998年08月19日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：
【要約】【課題】 極細/極薄の砥石の芯ズレや振れを効率よく除去することができ、砥石自体の変形がなく高精度のツルーイングができ、電源設備が小型,小出力で足り、複雑な制御回路や制御装置が不要であり、電極等消耗品の製作/再加工が容易であるマイクロ放電ツルーイング装置とこれを用いた微細加工方法を提供する。【解決手段】 被加工物1を加工するための導電性砥石12と、砥石の加工面12aに近接可能な外周縁14aを有する円板状の放電電極14と、電極をその軸心Zを中心に回転駆動する電極回転装置16と、電極の外周縁と砥石との相対位置を制御する位置制御装置18と、砥石と電極間に所定の電圧をパルス的に印加する電圧印加装置20と、砥石と電極間にアルカリ性液を供給する加工液供給装置22とを備える。回転する放電電極14の外周縁14aと導電性砥石12の加工面12aとの間にマイクロ放電を安定して発生させることにより、導電性砥石のメタルボンド部分を非接触で高能率かつ高精度に溶融除去し、砥石表面を所望の形状に修正する。
請求項（抜粋）：
被加工物(1)を加工するための導電性砥石(12)と、該導電性砥石の加工面(12a)に近接可能な外周縁(14a)を有する円板状の放電電極(14)と、該放電電極をその軸心Zを中心に回転駆動する電極回転装置(16)と、電極の外周縁と砥石との相対位置を制御する位置制御装置(18)と、砥石と電極間に所定の電圧をパルス的に印加する電圧印加装置(20)と、砥石と電極間にアルカリ性液を供給する加工液供給装置(22)と、を備えたことを特徴とするマイクロ放電ツルーイング装置。
Fターム (2件)：
3C047AA26 ,  3C047AA27
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM