特許
J-GLOBAL ID：200903076362237388
検査装置及び検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-199595
公開番号（公開出願番号）：特開2004-045066
出願日： 2002年07月09日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】検査から修正までの時間を短縮する。【解決手段】検査データ生成部11では、設計データをもとに、信号線や電源線など所定のパターン機能を検査感度で区分する検査感度区分情報を含む、検査データを生成し、検査感度設定部12では検査感度区分情報に所望の検査感度を割り当て、比較判断部14では撮像したフォトマスクまたはウェハーから生成される被検査データと、検査データとを比較して欠陥を検出し、検査データ抽出部15では検出された欠陥が存在する検査データ内の領域を抽出し、欠陥登録判定部16で抽出された領域の検査感度区分情報を参照して、欠陥を登録するか否かを判定する。これにより、欠陥の登録数を削減する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
フォトマスクまたはウェハーを検査する検査装置において、
設計データをもとに、所定のパターン機能を検査感度で区分する検査感度区分情報を含む、検査データを生成する検査データ生成部と、
前記検査感度区分情報ごとに、所望の検査感度を割り当てる検査感度設定部と、
前記フォトマスクまたはウェハーを撮像して、被検査データを生成する画像取得部と、
前記被検査データと、前記検査データとを比較し、欠陥を検出する比較判断部と、
検出された前記欠陥が存在する、前記検査データ内の領域を抽出する検査データ抽出部と、
前記領域の前記検査感度区分情報を参照し、前記欠陥を登録するか否かを判定する欠陥登録判定部と、
登録すると判定された欠陥を記憶する欠陥記憶部と、
を有することを特徴とする検査装置。
IPC (4件)：
G01N21/956
, G03F1/08
, H01L21/027
, H01L21/66
G01N21/956 A
, G03F1/08 S
, H01L21/66 J
, H01L21/30 502V
2G051AA51
, 2G051AA56
, 2G051AB02
, 2G051AC21
, 2G051CA04
, 2G051DA05
, 2G051EA14
, 2G051EB09
, 2G051EC01
, 2G051ED04
, 2H095BD04
, 2H095BD05
, 2H095BD11
, 2H095BD17
, 2H095BD28
, 4M106AA01
, 4M106CA39
, 4M106DB04
, 4M106DB21
, 4M106DJ18
, 4M106DJ21
