高配向性ダイヤモンド薄膜

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：藤巻正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-315558
公開番号（公開出願番号）：特開平7-069789
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：

【要約】【目的】結晶粒界が少なくキャリアの移動度が高いと共に、大面積の薄膜が得られる高配向性ダイヤモンド薄膜を提供する。【構成】高配向性ダイヤモンド薄膜は、気相合成によって形成されたダイヤモンド薄膜である。そして、この薄膜表面積の95%以上がダイヤモンドの(100)結晶面又は(111)結晶面で構成されており、隣接する(100)結晶面又は(111)結晶面について、その結晶面方位を表すオイラー角{α,β,γ}の差{△α,△β,△γ}が|△α|≦1°、|△β|≦1°、|△γ|≦1°を同時に満足する。

請求項（抜粋）：

気相合成によって形成されたダイヤモンド薄膜であって、その薄膜表面積の95%以上がダイヤモンドの(100)結晶面から構成されており、隣接する(100)結晶面について、その結晶面方位を表すオイラー角{α,β,γ}の差{△α,△β,△γ}が|△α|≦1°、|△β|≦1°、|△γ|≦1°を同時に満足することを特徴とする高配向性ダイヤモンド薄膜。

IPC (3件)：

C30B 29/04 , C30B 25/02 , H01L 21/205

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開昭63-252998
特開平3-237091
特開平4-077395

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審査官引用 (9件)

特開昭63-252998
特開平3-237091
特開平4-077395

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