特許
J-GLOBAL ID：200903076403006302
炭化珪素インゴットおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-065691
公開番号（公開出願番号）：特開2006-248825
出願日： 2005年03月09日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】 加工時におけるクラックの発生を防止することができる炭化珪素インゴットおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 柱状をなす炭化珪素単結晶11における少なくとも外周面に表面層12が形成されている。表面層12は自身に圧縮応力が作用することにより炭化珪素単結晶11に引張応力が働く。特に、表面層12と炭化珪素単結晶11との不純物濃度の差によって自身に圧縮応力が作用し、不純物が窒素であり、表面層12の方が炭化珪素単結晶11よりも窒素濃度が低くなっている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
柱状をなす炭化珪素単結晶(11)における少なくとも外周面に、自身に圧縮応力が作用することにより前記炭化珪素単結晶(11)に引張応力が働く表面層(12)を形成してなることを特徴とする炭化珪素インゴット。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
4G077AA02
, 4G077BE08
, 4G077DA18
, 4G077DB12
, 4G077DB28
, 4G077EB01
, 4G077HA12
, 4G077SA01
, 4G077SA06
, 4G077TA01
, 4G077TA06
, 4G077TJ06
