真空ポンプ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鵜沼辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-034565
公開番号（公開出願番号）：特開平10-231784
出願日： 1997年02月19日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】従来の真空ポンプでは一方のベローズが伸びきり、他方のベローズが伸び始める間、即ち、真空排気を行うベローズが入れ替わる時には、いずれのベローズも排気をしないため、連続的な排気ができなかった。また、従来は二つの吸排気手段を別々の駆動手段で駆動したため、ポンプの効率が低かった。【解決手段】本発明の真空ポンプでは、2個のベローズが個別に伸縮可能であり、第一のベローズが排気している間に第二のベローズが排気を開始し、かつ、第二のベローズが排気している間に第一のベローズが排気を開始するようにした。そのため、途切れることなく連続して排気ができる。また、本発明では、2個の固定コイルは同じ方向の磁界を発生し続け、2個の可動板の可動コイルが固定コイルと同方向または逆方向の磁界を、タイミングよく各々発生することにより、相互に駆動を補助するようにした。そのため、ポンプの効率が向上する。

請求項（抜粋）：

伸縮自在なベローズの一端を、吸込口弁および吐出口弁を有するベローズ固定部に固定し、他端に可動板を設けることによって気室を形成し、前記ベローズの伸縮により吸排気を行う吸排気手段の二つを一対に組み合わせ、前記可動板を前記ベローズ固定部方向へ往復運動させる駆動手段を備えた真空ポンプであって、一方の吸排気手段の可動板が移動して気室が膨脹する吸気状態の間に、他方の吸排気手段の可動板が移動して気室が収縮する排気状態となり、続いて、前記他方の吸排気手段の可動板が反転して気室が膨脹する吸気状態の間に、前記一方の可動板が反転して気室が収縮する排気状態となり、さらに続いて、前記一方の吸排気手段の可動板がふたたび反転して気室が膨脹する吸気状態となるサイクルにより、二個の気室のうち少なくともいずれか一方の気室が膨脹状態となることによって、排気が連続して行われることを特徴とする真空ポンプ。

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平1-244183
特開昭57-122172
特開昭63-154872

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