特許
J-GLOBAL ID:200903076457035405
研磨材および研磨材を用いた研磨方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
児玉 俊英
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-363591
公開番号(公開出願番号):特開2001-207160
出願日: 1999年12月22日
公開日(公表日): 2001年07月31日
要約:
【要約】【課題】 研磨能力の持続性に優れた研磨材を得ることを目的とする。【解決手段】 水を含有することにより所望の弾力性および粘着性を有する核体1と、核体1に含有させる水2と、核体1の表面に粘着性により粘着された複数の砥粒4とからなる研磨材10において、核体1に、核体1からの水分蒸発を防止する蒸発防止材3を含有させるものである。
請求項(抜粋):
水を含有することにより所望の弾力性および粘着性を有する核体と、上記核体に含有させる水と、上記核体の表面に上記粘着性により粘着された複数の砥粒とからなる研磨材において、上記核体に、上記核体からの水分蒸発を防止する蒸発防止材を含有させることを特徴とする研磨材。
IPC (3件):
C09K 3/14 550
, B24C 1/00
, B24C 11/00
FI (3件):
C09K 3/14 550 Z
, B24C 1/00 Z
, B24C 11/00 G
引用特許:
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