特許
J-GLOBAL ID：200903076465414466
スリットノズルおよび基板処理装置
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
吉田 茂明
, 吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-078145
公開番号（公開出願番号）：特開2005-262084
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】個々のスリットノズルの特性に影響されることなく、吐出口の開口間隔を均一化できるスリットノズルを提供することを目的とする。【解決手段】スリットノズルを構成する第1本体部、第2本体部411およびシム板に固定用ネジ穴群414(第2ネジ穴群414b)、開き調整用ネジ穴群416(調整用ネジ穴群416b)および閉じ調整用ネジ穴群417(調整用ネジ穴群417b)を設ける。固定用ネジ穴群414に固定用ボルトを螺入して、これらの部材を組み立てた後、吐出口の開口間隔を測定する。この測定結果に応じて、吐出口の開口間隔が所望する値より狭い位置では開き調整用ネジ穴群416に調整ネジを螺入し、広い位置では閉じ調整用ネジ穴群417に調整ネジを螺入する。これにより、吐出口の開口間隔がY軸方向について均一化するように調整する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
略水平方向に伸びる直線状の吐出口から所定の処理液を吐出するスリットノズルであって、
略水平方向に伸びる長尺の第1本体部と、
前記第1本体部と対向するように配置され、前記第1本体部と互いに結合して略水平方向に伸びた長尺の結合体を形成する第2本体部と、
所定の配列線上に配置され、前記第1本体部と前記第2本体部とを互いに結合させる締結手段と、
前記結合体の長尺方向全副に渡って設けられ、前記吐出口の開口間隔を調整する調整手段と、
を備え、
前記結合体において、前記第1本体部と前記第2本体部との対向面の一部に所定の処理液の流路となる隙間空間が形成されて、当該隙間空間の下方開口によって前記スリットノズルに前記吐出口が形成されることを特徴とするスリットノズル。
IPC (3件)：
B05C5/02
, B08B3/02
, G03F7/16
B05C5/02
, B08B3/02 D
, G03F7/16 501
2H025AA18
, 2H025AB14
, 2H025AB17
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025EA04
, 3B201AA02
, 3B201AB23
, 3B201AB48
, 3B201BB22
, 3B201BB32
, 3B201BB44
, 3B201BB92
, 3B201CB01
, 3B201CD43
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F041BA12
, 4F041BA22
, 4F041BA38
, 4F041BA56
, 4F041CA02
, 4F041CA16
, 4F041CA23
出願人引用 (1件)
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塗布装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-038966
出願人：東レ株式会社
審査官引用 (3件)
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流体塗布装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-360898
出願人：平田機工株式会社
-
塗布装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-038966
出願人：東レ株式会社
-
特開平2-056272
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