特許

J-GLOBAL ID：200903076471864716

微小高さ測定方法及びそれに用いる微小高さ測定装置並びに変位ユニット

発明者： 水村 通伸 ,  滝本 政美
出願人/特許権者： 株式会社ブイ・テクノロジー
代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-084393
公開番号（公開出願番号）：特開2006-266823
出願日： 2005年03月23日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】 被測定物上の測定点を任意に選択可能として被測定物上の測定点の高さを高速で測定する。 【解決手段】 対物レンズ3の焦点位置と光学的に共役の関係に配置され、光源2からの光ビームが被測定物1方向に反射するように傾く複数のマイクロミラー10(1,1)〜10(m,n)をマトリクス状に配列した測定点選択手段4と、被測定物1上に集光された光ビームの集光点からの反射及び散乱光を測定点選択手段4を介して検出する光検出手段5と、被測定物1を対物レンズ3に対してその光軸方向に相対的に変位させてその変位量を検出する変位手段6と、測定点選択手段4の各マイクロミラー10(1,1)〜10(m,n)を個別に駆動すると共に、光検出手段5で検出された光の輝度及び変位手段6で検出された被測定物1の変位量のデータから最大輝度値を示す変位量を被測定物1の高さとして求める制御手段7とを備えたものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光ビームを被測定物上に集光する対物レンズの焦点位置と光学的に共役の関係に配置され、複数のマイクロミラーをマトリクス状に配列した測定点選択手段の当該マイクロミラーのうち、少なくとも一のマイクロミラーを傾けて光源からの光ビームを被測定物方向に反射させ、 前記少なくとも一のマイクロミラーで反射された光ビームを前記対物レンズにより被測定物上に集光し、 該被測定物上に集光された光ビームの集光点からの反射及び散乱光を前記測定点選択手段の前記少なくとも一のマイクロミラーを介して検出し、 前記被測定物を前記対物レンズに対して相対的にその光軸方向に変位させてその変位量を検出し、 前記少なくとも一のマイクロミラーを介して検出された光の輝度及び前記検出された変位量のデータから最大輝度値を示す変位量を被測定物の測定点の高さとして求める、 ことを特徴とする微小高さ測定方法。

IPC (1件)：

G01B 11/02

FI (1件)：

G01B11/02 Z

Fターム (52件)：

2F065AA02 ,  2F065AA09 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF10 ,  2F065FF44 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG11 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL14 ,  2F065LL21 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065MM26 ,  2F065MM28 ,  2F065NN00 ,  2F065NN01 ,  2F065NN11 ,  2F065NN20 ,  2F065PP02 ,  2F065PP03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ35 ,  2F065QQ51 ,  2F065RR09 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13 ,  2F065TT08

引用特許：

出願人引用 (2件)

• レーザ走査式高さ測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-277942   出願人：オムロン株式会社
• 共焦点光スキャナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-135591   出願人：独立行政法人理化学研究所