特許
J-GLOBAL ID：200903076481356565
分析用マイクロセンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-240726
公開番号（公開出願番号）：特開2007-057289
出願日： 2005年08月23日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
【課題】 流路に圧電振動子を接合した構造に薬液を流すだけで、2電極の一方のみに捕獲手段を形成すると同時に、基準振動子と検出用振動子との近接配置をしても高精度の測定が可能な分析用マイクロセンサを提供する。【解決手段】 流路の一側面を構成する圧電基板表面に溝を設け、その対向面に対向電極を設ける。また、溝の上面に検出電極を、底面に基準電極を設け、溝の側壁面が疎水性を有するよう構成する。流路に水溶性の薬液を送液すると、溝内に気泡が残留し、検出電極のみが薬液に浸漬することになる。このため、薬液を送液する工程だけで、検出電極表面に特定物質を捕獲する吸着膜を形成できると同時に、基準電極と検出電極を切り替えて測定した圧電振動子の信号から温度変化による変動を検知でき、周囲の温度が変化しても、検出電極上に付着する特定物質の質量を高精度に測定することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
流路内を流れる試料に含有する特定物質を捕獲する捕獲手段を検出用電極上に有し、該捕獲手段により捕獲した質量を測定する分析用マイクロセンサにおいて、
前記流路内に設けられ、且つ側壁面が疎水性を有する溝形状の凸凹部が形成された第1の面を有するとともに前記第1の面とは反対の第2の面に対向電極を有する圧電基板と前記凸凹部の上部に設けられた前記検出用電極とにより検出用振動子を構成し、また前記圧電基板と前記凸凹部の底部に設けられた基準用電極とにより前記検出用振動子とは共振特性が異なる基準用振動子を構成する機能を有する圧電振動子と、
前記検出用振動子と前記基準用振動子に接続を切り替える切り替え部と、
前記切り替え部により切り替えて得られた前記検出用振動子の共振周波数と前記基準用振動子の共振周波数との差分値に基づいて前記捕獲手段により捕獲した前記質量を計測する計測手段と、
からなることを特徴とする分析用マイクロセンサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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