特許
J-GLOBAL ID：200903021249320687
マルチチャンネルQCMセンサデバイス及びマルチチャンネルQCM測定システム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-144239
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338022
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 水晶振動子の表裏面に複数の電極を対向させて縦横に配列形成したマルチチャンネルQCMセンサデバイスでは、各電極のリード部及び端子部が多くなるし、測定セルに必要な発振回路や接続切換回路が複雑になる。【解決手段】 水晶基板41の表面に配列する電極は、例えば電極42A1,42A4,42A7を電極リード部431で1つの端子部441に引き出す。裏面に配列する電極は、例えば電極42B7,42B8,42B9を電極リード部453で1つの端子部463に引き出した構造とする。このセンサデバイスを使った測定システムは、水晶基板の表面に配列される電極から引き出された端子部441〜443と、裏面に配列される電極から引き出された端子部461〜463とを個別の発振回路等に接続又は順次切換えて1つの発振回路等に接続する測定セル構成とする。
請求項（抜粋）：
水晶基板の表面に複数の作用電極を縦横に配列形成し、水晶基板の裏面に各作用電極に対向させた複数の裏面電極を縦横に配列形成し、前記各作用電極表面を試料ガスや試料溶液に晒したときの各電極部の電気的特性の変化から、試料に晒される各電極部別に試料成分の吸脱着を検知・定量するためのマルチチャンネルQCMセンサデバイスにおいて、前記各作用電極または各裏面電極のうち、一方の各電極を縦方向又は横方向で互いに接続した電極リード部で1つの端子部に引き出した構造、又は前記各作用電極及び各裏面電極の一方を縦方向で、他方を横方向で互いに接続した電極リード部で1つの端子部に引き出した構造、を特徴とするマルチチャンネルQCMセンサデバイス。
引用特許：
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