特許

J-GLOBAL ID：200903076503381178

ダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材

発明者： 津吉 淳弘 ,  中山 正俊
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-375444
公開番号（公開出願番号）：特開2000-178736
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月27日
要約：

【要約】【課題】 金型、工具等のダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材において、母材とダイヤモンド状炭素膜との密着性を向上させてその寿命を向上させ、さらには、生産性も向上させる。【解決手段】 母材とダイヤモンド状炭素膜との間に、周期表第5A族(5族)金属(V,Nb,Ta)の珪化物、周期表第6A族(6族)金属(Cr,Mo,W)の珪化物、Tiの珪化物およびZrの珪化物のいずれか一種以上を含有する中間層を有するダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材とする。または、母材とダイヤモンド状炭素膜との間に、周期表第5A族(5族)金属(V,Nb,Ta)の珪炭化物、周期表第6A族(6族)金属(Cr,Mo,W)の珪炭化物、Tiの珪炭化物およびZrの珪炭化物のいずれか一種以上を含有する中間層を有するダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材とする。

請求項（抜粋）：

母材上にダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材であって、母材とダイヤモンド状炭素膜との間に中間層を有し、中間層が、周期表第5A族(5族)金属(V,Nb,Ta)の珪化物、これらの珪炭化物、周期表第6A族(6族)金属(Cr,Mo,W)の珪化物、これらの珪炭化物、Tiの珪化物、Tiの珪炭化物、Zrの珪化物およびZrの珪炭化物のいずれか一種以上を含有するダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材。

IPC (3件)：

C23C 16/27 ,  B22C 3/00 ,  C23C 14/06

FI (5件)：

C23C 16/26 A ,  B22C 3/00 E ,  C23C 14/06 E ,  C23C 14/06 P ,  C23C 14/06 F

Fターム (46件)：

4E092AA01 ,  4E092AA05 ,  4E092GA10 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA34 ,  4K029BA35 ,  4K029BA41 ,  4K029BA52 ,  4K029BB01 ,  4K029BB02 ,  4K029BB10 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029EA05 ,  4K029GA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030AA24 ,  4K030BA06 ,  4K030BA12 ,  4K030BA13 ,  4K030BA17 ,  4K030BA19 ,  4K030BA20 ,  4K030BA24 ,  4K030BA28 ,  4K030BA29 ,  4K030BA35 ,  4K030BA48 ,  4K030BB05 ,  4K030BB11 ,  4K030BB13 ,  4K030CA02 ,  4K030CA03 ,  4K030FA01 ,  4K030HA01 ,  4K030HA04 ,  4K030JA06 ,  4K030LA01 ,  4K030LA21

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 円筒状部材の内周面への被膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-272698   出願人：シチズン時計株式会社
• 特開平2-054768
  
• ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-289718   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 特開昭63-286334