特許
J-GLOBAL ID:200903076534755483

流量測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤井 紘一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-113673
公開番号(公開出願番号):特開平11-304561
出願日: 1998年04月23日
公開日(公表日): 1999年11月05日
要約:
【要約】【課題】 小容量から大容量までの広い範囲の流量測定ができ、且つ種々の薬液にも対応することのできる流量測定装置の提供にある。【解決手段】 一定の内径を有し、液体を通すパイプ12と、該パイプの内部を通る液体中に気泡を注入する気泡注入手段14,16,18,20と、該パイプの外側に配置され前記気泡注入手段によって注入された気泡の通過を検出する第1のセンサ22と、該パイプの外側で、かつ該第1のセンサの下流側に配置され、前記気泡の通過を検出する第2のセンサ22と、前記第1及び第2のセンサからの検出信号に基づく気泡の通過時間に基づき、パイプ内を通る液体の瞬時量及び積算量を演算する演算手段26とを備えた。
請求項(抜粋):
一定の内径を有し、液体を通すパイプと、該パイプの内部を通る液体中に気泡を注入する気泡注入手段と、該パイプの外側に配置され前記気泡注入手段によって注入された気泡の通過を検出する第1のセンサと、該パイプの外側で、かつ該第1のセンサの下流側に配置され、前記気泡の通過を検出する第2のセンサと、前記第1及び第2のセンサからの検出信号に基づく気泡の通過時間に基づき、パイプ内を通る液体の瞬時量及び積算量を演算する演算手段とを備えたことを特徴とする流量測定装置。
IPC (2件):
G01F 1/708 ,  G01P 5/20
FI (2件):
G01F 1/708 ,  G01P 5/20 C
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 流量計及び流量検出方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-125325   出願人:矢崎総業株式会社
  • 光学式液面検出装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-134347   出願人:東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
  • 特開昭61-127976
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