特許

J-GLOBAL ID：200903076555140500

乾燥用ノズル

発明者： 津田 武明 ,  吉羽 洋 ,  稲田 秀樹 ,  相澤 栄次 ,  伊藤 裕介
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 乗松 恭三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-309053
公開番号（公開出願番号）：特開2004-141759
出願日： 2002年10月23日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】幅方向に均一で且つ時間的にも変動の少ない気流を供給可能な乾燥用ノズル5を提供する。【解決手段】送風ダクト6に連結されたプレナムチャンバー10と、その出口に配置されたハニカム12とメッシュ13を備えた整流部11を有する構成とする。この構成の乾燥用ノズル5では、プレナムチャンバー10が送風ダクト6から供給される気流を上下及び幅方向に均一に広げ、整流部11が気流の乱れを取り除き、一定方向の流れに整流しており、これによって、高度に均一な風速分布を備えると共に時間的にも風速の変化がきわめて少ない気流を発生させることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

乾燥用の気流を送り込む送風ダクトに連結され、該送風ダクトからの気流を広げるためのプレナムチャンバーと、該プレナムチャンバーの出口に配置された整流部を備え、該整流部がハニカムとメッシュを直列に配置した構造であることを特徴とする乾燥用ノズル。

IPC (1件)：

B05B1/14

FI (1件)：

B05B1/14 Z

Fターム (19件)：

3L113AA03 ,  3L113AB02 ,  3L113AC01 ,  3L113AC31 ,  3L113AC45 ,  3L113AC48 ,  3L113AC52 ,  3L113AC55 ,  3L113AC63 ,  3L113AC66 ,  3L113AC74 ,  3L113BA28 ,  3L113DA11 ,  3L113DA24 ,  4F033BA01 ,  4F033DA05 ,  4F033EA03 ,  4F033HA03 ,  4F033NA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 熱風循環式乾燥装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-345327   出願人：株式会社フジクラ
• 表面処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-339912   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特開昭63-004873