基板加熱装置およびこれを用いる結晶成長装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：梶山佶是 , 山本富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-153883
公開番号（公開出願番号）：特開2009-302223
出願日： 2008年06月12日
公開日（公表日）： 2009年12月24日
要約：

【課題】基板加熱装置のヒータ交換が容易で、基板加熱装置の小型化ができる基板加熱装置および結晶成長装置を提供することにある。【解決手段】この発明は、第1のヒータパターンを介してヒータに垂下されて固定された複数の接続端子部材をヒータに設けて、接続端子部材に設けた嵌合孔あるいは嵌合溝を介して支持部材に固定された複数の電極支柱に着脱可能に結合してヒータを支持し、あるいは、接続端子部材を支持部材側に設ける一方、ヒータに固定された複数の電極ロッドを接続端子部材に設けた嵌合孔あるいは嵌合溝を介して複数の支持部材に着脱可能に結合してヒータを支持する。【選択図】図3A

請求項（抜粋）：

サセプタに載置された基板を前記サセプタの背面に設けられたヒータにより前記サセプタを介して加熱する基板加熱装置において、前記ヒータは、第1のヒータパターンを有し、前記第1のヒータパターンの両端部に接続され前記ヒータに固定された下向きの嵌合孔あるいは嵌合溝を有する複数の接続端子部材と、足部が支持部材に起立して固定され前記嵌合孔あるいは嵌合溝に嵌合する頭部を有する複数の電極支柱とを備え、前記複数の電極支柱は、前記ヒータの外形より内側の空間に配置され、各前記電極支柱の頭部が各前記接続端子部材の前記嵌合孔あるいは嵌合溝に嵌合することで着脱可能に前記ヒータが前記複数の電極支柱に接続され、前記複数の電極支柱の少なくとも2本を介して前記ヒータに電力が供給される基板加熱装置。

IPC (7件)：

H01L 21/205 , H05B 3/02 , C23C 16/46 , H05B 3/03 , H05B 3/06 , H05B 3/14 , H01L 21/683

FI (7件)：

H01L21/205 , H05B3/02 B , C23C16/46 , H05B3/03 , H05B3/06 B , H05B3/14 F , H01L21/68 N

Fターム (51件)：

3K092PP20 , 3K092QA05 , 3K092QB30 , 3K092QB44 , 3K092QC02 , 3K092QC09 , 3K092QC18 , 3K092QC38 , 3K092QC42 , 3K092QC59 , 3K092QC64 , 3K092RF28 , 3K092VV03 , 3K092VV04 , 4K030FA10 , 4K030GA02 , 4K030KA02 , 4K030KA23 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031HA37 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA32 , 5F045AA02 , 5F045AA03 , 5F045AA04 , 5F045AB14 , 5F045AB17 , 5F045AC15 , 5F045AD08 , 5F045AD09 , 5F045AD10 , 5F045AD11 , 5F045AD12 , 5F045AD13 , 5F045AD14 , 5F045AD15 , 5F045AD16 , 5F045AF02 , 5F045AF09 , 5F045BB02 , 5F045BB10 , 5F045DP02 , 5F045DQ05 , 5F045EK07 , 5F045EK08 , 5F045EK22 , 5F045EM02 , 5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (1件)

結晶成長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-072141 出願人：農工大ティー・エル・オー株式会社

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