特許
J-GLOBAL ID：200903076563724686
ウエーハ収納部材の清浄度測定・評価方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-179361
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005227
出願日： 1995年06月22日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエーハを保管あるいは輸送するためのウエーハケースに付着するパーティクル及びウエーハケース自体から発生するパーティクルの双方を、比較的簡単な構造かつ低コストの装置で以って定量的に検知し、評価する方法を提供する。【構成】 ウエーハ収納部材(ウエーハケース)のうち内部に液体を収容し得るウエーハケース本体、上蓋等の容器状部材内に純水を注入し、これに低周波振動又は超音波振動を附与し、純水中のパーティクルの個数をカウントするように構成する。
請求項（抜粋）：
半導体ウエーハ収納用のウエーハバスケットを収納するウエーハケース本体及び該ケースの上蓋の清浄度を測定・評価するにあたり、前記ウエーハケース本体又は上蓋にて構成される容器状の被測定部材内に純水を注入して加振機上に載置し、前記純水の液面の安定後でかつ加振前に液中パーティクルの個数をカウントし、次いで前記加振機により低周波振動を一定時間附与し、その後に再度純水中のパーティクルの個数をカウントして加振前後のパーティクルの増加個数を求め、該パーティクルの増加個数により前記被測定部材の清浄度を評価することを特徴とするウエーハ収納部材の清浄度測定・評価方法。
IPC (7件)：
G01N 15/14
, C23C 14/00
, C23C 14/50
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, H01L 21/66
, H01L 21/68
G01N 15/14 A
, C23C 14/00 Z
, C23C 14/50 Z
, H01L 21/304 341 S
, H01L 21/304 341 C
, H01L 21/66 J
, H01L 21/68 T
