特許
J-GLOBAL ID：200903076567072985

表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査用プログラムを記録した記録媒体

発明者：
山華 義博

山華 義博 について

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久保田 整

久保田 整 について

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小野 勝一

小野 勝一 について


出願人/特許権者：
スズキ株式会社

スズキ株式会社 について


代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-345360
公開番号（公開出願番号）：特開2000-172845
出願日： 1998年12月04日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 誤検出、検出漏れの発生を低減するという検査性能を損なうことなく、メモリ使用量を少なくすることができると共に、検査時間を短縮することができる表面欠陥検出装置を提供する。【解決手段】 表面欠陥検査装置1は、照明手段7により被検査面3の検査領域に検査光5を照射し、被検査面3の検査領域の照明状態を変えながら撮像手段11で撮像し、照明状態を変える毎に撮像した画像から得られた濃度値に微分処理を施し、この微分処理の値を加算し、この加算値と予め設定されたしきい値とを比較して被検査面3の欠陥を決定する。
請求項（抜粋）：
被検査面に対して照明状態を変更可能に検査光を照射する照明手段と、前記被検査面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像された被検査面の画像に基づいて前記被検査面の欠陥を抽出する画像処理手段とを備え、前記画像処理手段は、前記撮像手段で互いに異なる照明状態で撮像された被検査面の画像のそれぞれに対して欠陥部分を強調するための処理を施す第1の画像処理機能と、この第1の画像処理機能が作動して各画像毎に得られる画像処理の結果を加算して前記被検査面の欠陥およびその座標位置を抽出する第2の画像処理機能とを備えていることを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G06T 7/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/88
FI (4件)：
G06F 15/62 400 ,  G01B 11/30 G ,  G01N 21/84 E ,  G01N 21/88 J
Fターム (47件)：
2F065AA03 ,  2F065AA61 ,  2F065BB05 ,  2F065BB15 ,  2F065BB24 ,  2F065BB25 ,  2F065CC11 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ51 ,  2G051AA89 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051BC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE03 ,  5B057CE11 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC03
引用特許：
審査官引用 (6件)
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