特許
J-GLOBAL ID：200903051265095916

表面欠陥検査装置

発明者：
今西 正則

今西 正則 について


出願人/特許権者：
日産自動車株式会社

日産自動車株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-086363
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280845
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 被検査面上の凹凸等の欠陥と被検査物体に設けられた加工部位等の非検査領域とを区別し、かつ非検査領域近辺にある欠陥をも検出できる表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 被検査物体表面に所定の明暗パターンを形成する照明手段101と、被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段102と、画像データの異なる複数方向における周波数成分のうち高い周波数成分で、かつレベルが所定値以上の成分のみを欠陥の候補として抽出する画像処理手段103と、被検査面もしくは撮像手段および照明手段のいずれか一方を移動させながら任意の時刻毎に画像処理手段により各方向の欠陥候補抽出画像を作成し、そこで得られる時系列に処理された連続した各方向の欠陥候補抽出画像のそれぞれに存在する欠陥候補が移動と所定の条件で適合するか否かを判定し、適合したならばその欠陥候補領域を欠陥と判断する欠陥検出手段104を備える。
請求項（抜粋）：
被検査面に光を照射し、その被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査物体表面に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、前記被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段と、前記画像データの異なる複数方向における周波数成分のうち高い周波数成分で、かつレベルが所定値以上の成分のみを欠陥の候補として抽出する画像処理手段と、前記被検査面もしくは前記撮像手段および前記照明手段のいずれか一方を移動させながら任意の時刻毎に前記画像処理手段により前記各方向の欠陥候補抽出画像を作成し、そこで得られる時系列に処理された連続した各方向の欠陥候補抽出画像のそれぞれに存在する欠陥候補が前記移動と所定の条件で適合するか否かを判定し、適合したならばその欠陥候補領域を欠陥と判断する欠陥検出手段、とを備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
G01B 11/30 ,  G01N 21/88
FI (2件)：
G01B 11/30 E ,  G01N 21/88 Z
引用特許：
審査官引用 (6件)
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