誘導結合プラズマ発光分析方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-146231
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054041
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】大量の高圧空気や装置や高価な材料や、危険や、大きな換気設備などを用意することなく、プラズマからの放電が生じることもなく、プラズマの発生方向からの光を分光器に取り入れて、安全で、安価で、かつ、安定に、分析する。【解決手段】プラズマからの熱から集光系を守るために、金属製のコーンをプラズマと集光系の間に置き冷却し、電気的に絶縁し、トーチ管をコーン近くまで設け、プラズマの発生方向からの光を分光器に取り入れる。

請求項（抜粋）：

トーチ管のプラズマの発生の方向に設けたコーンと、前記プラズマの発生方向からの光を前記コーンに設けられた孔を通して取入れ、取り入れた前記光を分光器に入射させる集光系とを用いる誘導結合プラズマ発光分光分析装置に於て、前記トーチ管の最外管の端が前記ワークコイルの端より30〜150mmに設けられるとともに、前記コーンに設けられた孔の内径が1〜7mmであるとともに、前記コーンの端が前記トーチ管の最外管の端より-5〜50mmに設けられるとともに、前記コーンが金属製であるとともに、前記コーンが冷却されるとともに、前記コーンが前記集光系から電気的に絶縁されるとともに、前記集光系が装置全体に電気的に接地されることを特徴とする誘導結合プラズマ発光分光分析装置。

引用特許：

審査官引用 (6件)

分析用プラズマトーチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-185692 出願人：川崎製鉄株式会社
特開平3-101043
ICP発光分析用プラズマトーチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-068662 出願人：株式会社堀場製作所

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