特許
J-GLOBAL ID：200903076601036772
膜厚測定装置および膜厚測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
山内 康伸
, 中井 博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-058177
公開番号（公開出願番号）：特開2006-242721
出願日： 2005年03月02日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】黒鉛等のように赤外線の吸収量が大きい素材や、基材の素材と赤外線の吸収量に対して同じような性質を有する素材によって形成された膜の厚さであっても測定することができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供する。【解決手段】被測定対象Aの加熱面HSにおける温度の時間変動特性と、温度測定手段によって測定された被測定対象Aの加熱面HSの温度とに基づいて、被測定対象Aの膜厚Dを算出する演算手段5とを備えており、温度測定手段がガルバノミラー走査型の赤外線サーモグラフィ2であり、演算手段5は加熱手段10による加熱によって被測定対象Aの加熱面HSの温度上昇が開始したタイミングを算出する加熱タイミング検出部6と、加熱タイミング検出部6によって検出された被測定対象Aの加熱面HSの温度上昇開始タイミングT0と、被測定対象Aの加熱面HSの温度に基づいて、被測定対象Aの膜厚Dを算出する膜厚算出部7とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被測定対象における加熱面を瞬間的に加熱する加熱手段と、
前記被測定対象の加熱面の温度を測定する温度測定手段と、
被測定対象の加熱面が瞬間的に加熱されたときに生じる該被測定対象の加熱面における温度の時間変動特性と、前記加熱手段によって加熱されたときに該温度測定手段によって測定された被測定対象の加熱面の温度とに基づいて、被測定対象の膜厚を算出する演算手段とを備えており、
前記温度測定手段が、ガルバノミラー走査型の赤外線サーモグラフィであり、
前記演算手段は、
前記加熱手段による加熱によって被測定対象の加熱面の温度上昇が開始したタイミングを算出する加熱タイミング検出部と、
該加熱タイミング検出部によって検出された被測定対象の加熱面の温度上昇開始タイミングと、前記赤外線サーモグラフィによって測定された被測定対象の加熱面の温度に基づいて、該被測定対象の膜厚を算出する膜厚算出部とを備えている
ことを特徴とする膜厚測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2F065AA30
, 2F065BB01
, 2F065CC31
, 2F065DD04
, 2F065FF00
, 2F065FF01
, 2F065FF46
, 2F065GG08
, 2F065GG21
, 2F065HH12
, 2F065JJ01
, 2F065JJ09
, 2F065LL61
, 2F065MM26
, 2F065QQ03
, 2F065QQ13
, 2F065QQ25
, 2F065UU05
出願人引用 (2件)
-
膜厚解析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-231780
出願人：大日本印刷株式会社
-
特許2003-279325号
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