投影光学系

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-263932
公開番号（公開出願番号）：特開平9-105861
出願日： 1995年10月12日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】比較的広い露光領域と大きな開口数とを確保つつ両側テレセントリックとしながらも、諸収差、特にディストーション(高次のディストーションを含む)を極めて良好に補正する。【解決手段】本発明の投影光学系は、物体側から順に、正の第1レンズ群G1、負の第2レンズ群G2、正の第3レンズ群G3、負の第4レンズ群G4、正の第5レンズ群G5及び正の第6レンズ群G6を有し、第2レンズ群は、負の前方レンズと負の後方レンズとの間に配置されかつ負レンズのみで構成される中間レンズ群を含み、中間レンズ群は、少なくとも2枚の負レンズを有し、第5レンズ群は、少なくとも7枚の正レンズを有するように構成される。そして、本発明は、上記レンズ構成に関する最適な条件を見出したものである。

請求項（抜粋）：

第1物体の像を第2物体上に投影する投影光学系において、前記投影光学系は、前記第1物体側から順に、正の屈折力を持つ第1レンズ群と、負の屈折力を持つ第2レンズ群と、正の屈折力を持つ第3レンズ群と、負の屈折力を持つ第4レンズ群と、正の屈折力を持つ第5レンズ群と、正の屈折力を持つ第6レンズ群とを有し、前記第2レンズ群は、最も第1物体側に配置されて前記第2物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ前方レンズと、最も第2物体側に配置されて前記第1物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ後方レンズと、前記第2レンズ群中の前方レンズと前記第2レンズ群中の後方レンズとの間に配置されかつ負レンズのみで構成される中間レンズ群を含み、前記中間レンズ群は、少なくとも2枚の負レンズを有し、前記第5レンズ群は、少なくとも7枚の正レンズを有し、前記第1レンズ群の焦点距離をf<SB>1 </SB>とし、前記第2レンズ群の焦点距離をf<SB>2</SB>、前記第3レンズ群の焦点距離をf<SB>3 </SB>、前記第4レンズ群の焦点距離をf<SB>4 </SB>、前記第5レンズ群の焦点距離をf<SB>5 </SB>、前記第6レンズ群の焦点距離をf<SB>6 </SB>、前記第2レンズ群中の前記中間レンズ群の合成焦点距離をf<SB>2m</SB>、前記第1物体から前記第2物体までの距離をLとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする投影光学系。(1) 0.1<f<SB>1 </SB>/f<SB>3 </SB><17(2) 0.05<f<SB>2 </SB>/f<SB>4 </SB><7(3) 0.01<f<SB>5 </SB>/L<0.9(4) 0.02<f<SB>6 </SB>/L<1.6(5) 1.1<f<SB>2m</SB>/f<SB>2 </SB><9

IPC (2件)：

G02B 13/24 , H01L 21/027

FI (2件)：

G02B 13/24 , H01L 21/30 515 D

引用特許：

出願人引用 (3件)

投影光学系及び投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-336471 出願人：株式会社ニコン
縮小投影レンズ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-022837 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-157412

審査官引用 (3件)

投影光学系及び投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-336471 出願人：株式会社ニコン
縮小投影レンズ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-022837 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-157412

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