特許
J-GLOBAL ID：200903076616446950
光コヒーレンストモグラフィーにおける光干渉計一体駆動による検知点走査方法及び光コヒーレンストモグラフィー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-357727
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191114
出願日： 2002年12月10日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：
【課題】集束光の焦点位置と検知点とを違えることなく、Z軸方向のみに、さらにはX、Y軸方向に任意に検知点を走査でき、さらに小型実装化が実現できる光コヒーレンストモグラフィーにおける光干渉計一体駆動による検知点走査方法及び光コヒーレンストモグラフィー装置を提供する。【解決手段】低コヒーレンス光源1からの光を第1のハーフミラー3を介して平行光束用結合レンズ4で平行光束5を形成し、集光用レンズ6で集光光にして第2のハーフミラー7で物体プローブ光8aと参照光8bに2分割し、参照光は反射鏡10で反射する時、前記集光用レンズ6と第2のハーフミラー7と反射鏡10から構成される干渉計を一体に配備し可動体11に載せて、まずr軸走査は、支持棒12を小型のリニアアクチュエータなどの駆動機構13でr軸方向に前後させて行う。それにより、参照光路長は一定のまま、干渉計自体を駆動して集光点を移動させ、焦光点がすなわち被検査物体の検知点となりr軸方向に検知点を任意の速度で走査可能とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
低コヒーレンス光源からの光を集光用レンズにより集光光にして、該集光光をハーフミラーで被検査物体への物体プローブ光と参照光とに2分割し、該参照光を集光点で反射する反射鏡を設け、参照光路長を前記集光点までの一定の距離とし、少なくとも前記集光用レンズと前記ハーフミラーと前記反射鏡を一体に可動体に配置し、該可動体を適宜駆動走査する機構を配備することにより、前記集光光の集光点位置を移動し前記被検査物体の深層検知点として走査し、前記被検査物体の深層からの反射光は、前記ハーフミラーで前記参照光の反射光と合波し、前記集光用レンズを回帰し、前記参照光と物体プローブ光のいずれかに相対的に周波数シフトを生じる方法により光検出器でヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検出して、前記被検査物体の深層断面を映像化することを特徴とする光コヒーレンストモグラフィーにおける光干渉計一体駆動による検知点走査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (23件)：
2G059AA05
, 2G059AA06
, 2G059BB12
, 2G059BB14
, 2G059CC16
, 2G059DD13
, 2G059EE02
, 2G059EE09
, 2G059FF02
, 2G059FF08
, 2G059FF09
, 2G059GG01
, 2G059GG10
, 2G059HH01
, 2G059JJ02
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059KK04
, 2G059LL01
, 2G059PP04
