特許

J-GLOBAL ID：200903076617478341

両面研磨機のキャリア

発明者： 石井 秀幸 ,  玉置 稔隆 ,  金田 明記
出願人/特許権者： ロデール・ニッタ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-134094
公開番号（公開出願番号）：特開平10-315123
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェーハ、メモリーディスク等の研磨の際、その研磨面の平坦性を向上させ得ることができ、また使用可能時間を延長し研磨に要するコストを低減し得る研磨キャリアを提供すること。【解決手段】外周部に複数のピン11を有する太陽ギア12と、内周部に複数のピン13を有する遊星ギア14と、太陽ギア12のピン11と遊星ギア14のピン13にそれぞれ噛合し得る歯部を外周部に有するキャリア16と、を有し、太陽ギア12が回転することにより、キャリア16が遊星運動可能とされ、キャリア16に設けられた被加工物保持穴17に配置された被加工物の両面を、キャリア16の両面側に配置された研磨布18で研磨する両面研磨機のキャリアである。そのキャリア16の歯部15は、ピン11,13が嵌合し得る複数の凹部20と隣接する凹部20間に形成される突部21とを有し、凹部20の外面と突部21の外面とがエッジを有しない連続面22によって連続されている。

請求項（抜粋）：

外周部に複数のピンを有する太陽ギアと、内周部に複数のピンを有する遊星ギアと、該太陽ギアのピンと該遊星ギアのピンにそれぞれ噛合し得る歯部を外周部に有するキャリアと、を有し、該太陽ギアが回転することにより、該キャリアが遊星運動可能とされ、該キャリアに設けられた被加工物保持穴に配置された被加工物の両面を、該キャリアの両面側に配置された研磨布で研磨する両面研磨機のキャリアにおいて、該キャリアの歯部は、該ピンが嵌合し得る複数の凹部と該隣接する凹部間に形成される突部とを有し、該凹部の外面と該突部の外面とがエッジを有しない連続面によって連続されている両面研磨機のキャリア。

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 両面研磨機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-007947   出願人：不二越機械工業株式会社

審査官引用 (1件)

• 両面研磨機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-007947   出願人：不二越機械工業株式会社