両面研磨機

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：綿貫隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-007947
公開番号（公開出願番号）：特開平9-193009
出願日： 1996年01月22日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：

【要約】【課題】キャリアの運動がスムースになると共に、キャリア自体の耐久性を向上させることができること。【解決手段】エクスターナルギヤと、インターナルギヤと、遊星歯車に相当するキャリア20とからなる遊星歯車装置の歯車構成を備え、キャリア20にはワークが保持される透孔が設けられ、キャリア20に保持されたワークを上下から挟むと共にワークに対して相対的に移動して研磨する上下の研磨定盤を備える両面研磨機において、エクスターナルギヤおよびインターナルギヤには、歯車の歯に相当する複数の円柱状のピン17が円形線上に等間隔に立設され、ピン17列に歯合するキャリア20の歯車の歯形がトロコイド系曲線に設けられている。

請求項（抜粋）：

エクスターナルギヤと、インターナルギヤと、遊星歯車に相当するキャリアとからなる遊星歯車装置の歯車構成を備え、前記キャリアにはワークが保持される透孔が設けられ、該キャリアに保持されたワークを上下から挟むと共にワークに対して相対的に移動して研磨する上下の研磨定盤を備える両面研磨機において、エクスターナルギヤおよびインターナルギヤには、歯車の歯に相当する複数の円柱状のピンが円形線上に等間隔に立設され、前記ピン列に歯合する前記キャリアの歯車の歯形がトロコイド系曲線に設けられていることを特徴とする両面研磨機。

引用特許：

審査官引用 (5件)

半導体の研磨機、研磨台及び研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-206781 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
特開平1-252356
特開昭53-005362

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