特許

J-GLOBAL ID：200903076646652164

基板検査治具、基板検査装置及び検査方法

発明者： 沼田 清 ,  辻 英明
出願人/特許権者： 日本電産リード株式会社
代理人 (1件)： 高橋 要泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-257102
公開番号（公開出願番号）：特開2008-076281
出願日： 2006年09月22日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：

【課題】 各プローブの抵抗値を測定して抵抗値の変動を管理することによってメンテナンス効率を向上させること。【解決手段】 一方の端部が被検査基板の被検査点に接触し、他方の端部が被検査基板の検査を行うための検査手段に電気的に接続されるプローブと、プローブを保持する保持手段と、プローブに関する情報を記憶する情報記憶手段とを備える検査治具である。情報記憶手段に記憶されるプローブに関する情報には、所定の時期に求めるプローブの抵抗値が含まれており、プローブの抵抗値の変化からプローブの交換時期に関する情報を得ることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

一方の端部が被検査基板の被検査点に接触し、他方の端部が前記被検査基板の検査を行うための検査手段に電気的に接続されるプローブと、該プローブを保持する保持手段と、前記プローブに関する情報を記憶する情報記憶手段とを備える検査治具であって、 前記情報記憶手段に記憶される前記プローブに関する情報には、所定の時期に求める前記プローブの抵抗値が含まれており、該プローブの抵抗値の変化から該プローブの交換時期に関する情報を得ることができる検査治具。

IPC (2件)：

G01R 31/28 ,  G01R 1/06

FI (2件)：

G01R31/28 H ,  G01R1/06 E

Fターム (12件)：

2G011AC05 ,  2G011AC14 ,  2G011AE01 ,  2G132AA20 ,  2G132AC03 ,  2G132AE16 ,  2G132AE18 ,  2G132AE22 ,  2G132AF01 ,  2G132AL00 ,  2G132AL03 ,  2G132AL11

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-411887   出願人：東芝テリー株式会社
• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-016060   出願人：東京エレクトロン株式会社