特許

J-GLOBAL ID：200903076649675335

ウェーハ検査装置

発明者： 大島 泰毅 ,  竹村 文宏
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-279586
公開番号（公開出願番号）：特開平9-101266
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【目的】 ウェーハを機械に保持させて、自転,傾斜はもとより公転ならびに公転半径の変更等を自動的に安定且つ確実に行うことができて、ウェーハの目視検査を容易にし、検査能率を向上せしめるウェーハ検査装置を提供する。【構成】 ウェーハを平面内で一定方向に姿勢を保持させてウェーハの軸心を中心に回転させる自転機構と、ウェーハを任意の方向に且つ平面に対し任意の角度に傾斜させる傾斜機構と、ウェーハを平面内で一定方向に姿勢を保持させた状態で平面に直角な回転軸の周りを公転させ且つその公転半径を連続的に変化させる公転機構とよりなるウェーハ検査装置。

請求項（抜粋）：

ウェーハを平面内で一定方向に姿勢を保持させてウェーハの軸心を中心に回転させる自転機構と、ウェーハを任意の方向に且つ平面に対し任意の角度に傾斜させる傾斜機構と、ウェーハを平面内で一定方向に姿勢を保持させた状態で平面に直角な回転軸の周りを公転させ且つその公転半径を連続的に変化させる公転機構とよりなるウェーハ検査装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 薄板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-106250   出願人：東芝セラミックス株式会社