特許
J-GLOBAL ID：200903076666698098
表示パネル用プローブ装置およびプローブ位置決め方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-226762
公開番号（公開出願番号）：特開平11-065475
出願日： 1997年08月22日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】表示パネル20の電気特性測定する表示パネル用プローブ装置およびプローブ位置決め方法において、電極端子21のピッチの異なる表示パネル20に対応できかつプローブ14と電極端子21の位置合わせ確度を高くする。【解決手段】プローブ14の間隔の異なる複数のプローブユニット2を差し替えできる機構をもつとともプローブと電極端子とを位置調整する機構を備える度アクチュエータ3を設けることによって、表示パネル20の電極端子21のピッチの異なっても、新しくプローブユニット2を準備することなく即適用できる。また、位置合せするのにプローブユニット2を移動させながら両側のプローブ14と電極端子21を含む回路抵抗を測定し最適位置に設定する。
請求項（抜粋）：
所定の間隔に並べ配置される表示パネルの電極端子と接触する複数本のプローブを有する一プローブユニットと、前記電極端子の間隔の異なる該電極端子と接触する複数本の前記プローブを有する他のプローブユニットと、前記一プローブユニットと前記他のプローブユニットとのいずれか挿抜して入れ換える接続機構を有するとともに差し込まれたいずれかの該プローブユニットを移動させる移動機構を具備するアクチュエータと、このアクチュエータと該アクチュエータに差し込まれる前記プローブユニットとで構成されるプローブアッセンブリユニットを開口に沿って並べて取付けるベースプレートを具備するプローブヘッドと、前記表示パネルを載置して保持するステージと、前記ステージを回転およびXY方向に独立に移動させるコンパウンドテーブルと、前記表示パネルのアライメントマークを認識するアライメントカメラと、前記アクチュエータの作動と前記プローブからの信号授受およびテスタ本体への信号授受ならびにシーケンス制御を行なうコントローラとを備えることを特徴とする表示パネル用プローブ装置。
IPC (5件)：
G09F 9/00 352
, G01R 1/073
, G01R 31/00
, G01R 31/28
, G02F 1/13 101
G09F 9/00 352
, G01R 1/073 D
, G01R 31/00
, G02F 1/13 101
, G01R 31/28 K
