プラズマ生成装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-174356
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012283
出願日： 1998年06月22日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】長時間の連続したプラズマ放電を安定して維持して、有機ハロゲン化合物を高い分解率で無害化処理する。【解決手段】マイクロ波発振器2から出力されたマイクロ波は、矩形導波管1により伝送され、金属導体10及びプローブアンテナ10aを介して円筒形空胴共振器3内に導かれ、円筒形空胴共振器3内には、TM010 モードの電界が形成される。放電管4内では、電界強度の高いTM010 モードの電界により放電が発生して熱プラズマ15が生じる。放電管4内に供給されたフロンガス7は、熱プラズマ15により分解して無害化される。

請求項（抜粋）：

マイクロ波を伝送すると共に開口が形成されている矩形導波管と、前記開口を介して連通状態で前記矩形導波管に結合しており、しかも中心軸が前記矩形導波管内の電界方向に一致するように配置されている円筒形空胴共振器と、前記円筒形空胴共振器の中心軸に対して同軸となると共に前記開口を通る状態で配置されて、前記矩形導波管及び前記円筒形空胴共振器を貫通している誘電体製の放電管と、前記矩形導波管の底部に連結されており、前記放電管を囲繞しつつ前記開口を通って前記円筒形空胴共振器の内部にまで延在している金属導体と、を有することを特徴とするプラズマ生成装置。

IPC (2件)：

H05H 1/30 , H05H 1/46

FI (2件)：

H05H 1/30 , H05H 1/46 B

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平3-095899
プラズマの発生装置及び発生方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-021375 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
特開平2-215038

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審査官引用 (4件)

特開平3-095899
プラズマの発生装置及び発生方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-021375 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
特開平2-215038

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