特許

J-GLOBAL ID：200903076692758228

毛管作用によるインプリント技術

発明者： チョイ,ビュン-ジン ,  スリニーヴァッサン,シトルガタ・ヴイ ,  ワッツ,マイケル・ピイ・シイ
出願人/特許権者： モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-523943
公開番号（公開出願番号）：特表2007-502715
出願日： 2004年08月13日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：

本発明は、基板とモールドとの間に成形性材料を位置決めすること、および基板とモールドのいずれか一方と成形性材料との間の毛管作用を利用してモールドと基板との間に定められた容積を成形性材料で充填することを特徴とする、モールドを有するテンプレートで基板をパターニングする方法を提供する。この後、成形性材料が固体化される。具体的には、モールドと基板との間の押圧力が避けられない場合には、それを弱めるのに十分な程度にまで、モールドと基板との間の距離を制御する。その結果、モールドが成形性材料と最初に接触すると、モールドと基板との間の容積の、自然発生的な毛管作用による充填が生じる。

請求項（抜粋）：

モールドを有するテンプレートで基板をパターニングする方法であって、 前記基板と前記モールドとの間に成形性材料を位置決めする工程と、 前記モールドと前記基板のいずれか一方と前記成形性材料との間の毛管作用を利用して、前記モールドと前記基板との間に形成された容積を前記成形性材料で充填する工程と、 前記成形性材料を固化させる工程とを含む方法。

IPC (3件)：

B81C 5/00 ,  H01L 21/027 ,  B29C 39/10

FI (3件)：

B81C5/00 ,  H01L21/30 502D ,  B29C39/10

Fターム (13件)：

4F204AA36 ,  4F204AC05 ,  4F204AF01 ,  4F204AG05 ,  4F204AR07 ,  4F204AR12 ,  4F204EA03 ,  4F204EB01 ,  4F204EB11 ,  4F204EF01 ,  4F204EF27 ,  4F204EK24 ,  5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 樹脂層複製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-242085   出願人：富士通株式会社