特許

J-GLOBAL ID：200903076693167215

流体制御装置

発明者： 大見 忠弘 ,  唐士 裕司 ,  山路 道雄 ,  田中 林明 ,  平尾 圭志 ,  川野 裕司 ,  廣瀬 隆 ,  横山 光祐 ,  倉持 道生 ,  波多野 雅之 ,  池田 信一
出願人/特許権者： 大見 忠弘 ,  株式会社フジキン
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-029996
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227368
出願日： 1997年02月14日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】 主構成要素である開閉弁の種類数を増加させることなく、集積化を実現した流体制御装置を提供する。【解決手段】 流体制御器の出入口に配置される遮断開放器は、1つの2ポート弁101 を備えた遮断開放器91と、1つの2ポート弁101 および1つの3ポート弁102 を備えた遮断開放器92と、1つの2ポート弁101 および2つの3ポート弁102 を備えた遮断開放器93と、2つの3ポート弁102 を備えた遮断開放器94と、3つの3ポート弁102 を備えた遮断開放器95の5種類のうちのいずれかとされる。すべての型の遮断開放器91,92,93の2ポート弁101 の弁本体101aが、入口103 および出口104 が下面に設けられた同一形状のものとされ、すべての型の遮断開放器92,93,94,95 の3ポート弁102 の弁本体102aが、常時連通している入口107 および出口106 に加えてさらに副出入口105 が下面に設けられた同一形状のものとされている。

請求項（抜粋）：

複数の流体制御器と、各流体制御器の入口側および出口側にそれぞれ配置された複数の遮断開放器とを備え、各遮断開放器が、隣り合う弁同士がチューブを介さずに接続された複数の弁または1つの弁よりなり、各遮断開放器は、1つの2ポート弁を備えた2型の遮断開放器と、1つの2ポート弁および1つの3ポート弁を備えた2-3型の遮断開放器と、1つの2ポート弁および2つの3ポート弁を備えた2-3-3型の遮断開放器と、2つの3ポート弁を備えた3-3型の遮断開放器と、3つの3ポート弁を備えた3-3-3型の遮断開放器の5種類のうちのいずれかとされており、すべての型の遮断開放器の2ポート弁の弁本体が、入口および出口が下面に設けられた同一形状のものとされ、すべての型の遮断開放器の3ポート弁の弁本体が、常時連通している入口および出口に加えてさらに副出入口が下面に設けられた同一形状のものとされていることを特徴とする流体制御装置。

IPC (4件)：

F16K 27/00 ,  C23C 16/44 ,  C30B 25/14 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

F16K 27/00 D ,  C23C 16/44 D ,  C30B 25/14 ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ガス供給集積ユニット及びそのシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-058148   出願人：シーケーディ株式会社