特許
J-GLOBAL ID：200903076699876870
メッキ装置およびメッキ方法と被メッキ処理基板
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-023797
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211724
出願日： 1994年01月25日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 基板用メッキ装置において、カソード電極がメッキ液と全く接触しないようにすることができ、しかも、カソード電極と基板間での十分な密着による確実な導電状態を得ることができるようにする。【構成】 メッキ液4が噴流されるカップ2の周壁部上部に放射状に複数のメッキ液流出孔22を設け、カップ2の周壁部上面に、ゴム等の弾性を有する環板状の密閉シート21を設ける。さらに、この密閉シート21の上面には、その内周面よりも所定の距離だけ外側に端部が位置した状態で、Ptワイヤー等による線状のカソード電極9を設ける。そして、基板11を押え付ける板バネ13や基板11に載せる重り等の手段により、前記線状のカソード電極9に基板11のメッキ用接続端子を接触させた状態で、基板11の被メッキ面のほぼ周囲を密閉シート21の上面に密接させる。
請求項（抜粋）：
メッキ液が噴流されるカップの周壁部上にカソード電極を設け、このカソード電極を基板の被メッキ面に設けられたメッキ用接続端子に接触させた状態で基板をカップの周壁部上に載置して、メッキ液の噴流により基板の被メッキ面にメッキを施すメッキ装置において、前記カップの周壁部上部に放射状に設けられた複数のメッキ液流出孔と、前記カップの周壁部上面に設けられる弾性を有する環板状の密閉シートと、この密閉シートの内周面よりも所定の距離だけ外側に端部が位置した状態で、前記密閉シートの上面に設けられる線状のカソード電極と、この線状のカソード電極に前記基板の前記メッキ用接続端子を接触させた状態で、前記基板の前記被メッキ面のほぼ周囲を前記密閉シートの上面に密接させる手段と、を具備したことを特徴とするメッキ装置。
IPC (5件)：
H01L 21/321
, C25D 5/08
, C25D 17/00
, H01L 21/288
, H05K 3/24
